屏障可以是集成電感器，屏障蓋、右不變板和左不變板，右不變板和左不變板設有凹槽。前后夾板鉸接在鋪布兩側凹槽的前后兩側。左右不變板上設有放置槽，磁芯置于放置槽內，磁芯的兩端分為左右不變板上的槽。屏障集成電感布置合理，主要由下殼體布局、上蓋布局和電磁線圈組成。通過右不變板、放置槽和左不變板，下放置殼布局由右不變板、放置槽和左不變板組成。屏障蓋可用作上蓋布局。帶線圈的磁芯放置在放置槽內，并覆蓋屏蔽罩，減少對外界的電磁輻射，所幸屏蔽罩固定牢固，方便被破壞，使用方便。 通過使用集成電感耦合等離子體源來處理襯底的設備。集成電感耦合等離子體源執行電源、屏障組件和耦合到電源的線圈。在一些實施例中，線圈以一種方式與度螺旋組和垂直延伸螺旋組一起插入。憑證的一些實施例是屏障構件鍛煉將被用作法拉第屏障的接地構件。減少了由襯底處理系統中的集成電感耦合等離子體引起的寄生損耗和等離子體的不固結。 集成電感試裝、集成電感測試儀、試模、定位模板、壓板和著陸組件。試模的頂面設有多個試模孔。測試孔由上至下分為漏斗部分和縮小部分。變徑部外壁設有電連續座，電連續座與集成電感測試儀的電連續性是連續的，定位模板可破壞放置在壓板底部。壓板的頂部有多個夾持槽，夾持槽的底面有多個銷孔。多個銷孔的位置對應于垂直偏差中多個試驗孔的位置。銷孔連接到定位模板的底部。壓板底部的位置裝有彈性墊。本文旨在解決現有集成電感測試儀在測試過程中引腳彎曲和順從性低的問題。